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光刻膠原材料反應(yīng)罐防爆冷熱循環(huán)一體機「歐能機械」

返回列表 來源: 歐能機械 發(fā)布日期: 2025.05.08/14:19

合作項目光刻膠原材料反應(yīng)罐控溫

合作產(chǎn)品:防爆冷熱循環(huán)一體機

合作時間2025年4月

案例介紹

科技公司從事光刻膠原材料的研發(fā)試驗,其核心工藝涉及反應(yīng)罐的真空環(huán)境控制。反應(yīng)罐在抽真空過程中,空氣中的水汽可能進入真空泵,導(dǎo)致泵體腐蝕或性能下降。

光刻膠原材料反應(yīng)罐防爆冷熱循環(huán)一體機

該工藝的控溫對象為反應(yīng)罐抽出的氣體,要求將氣體溫度快速降至-20℃,確保水汽充分冷凝。由于試驗涉及有機溶劑,設(shè)備需滿足防爆要求(BT4等級),同時具備穩(wěn)定的制冷和加熱能力,以適應(yīng)工藝中的溫度變化需求。

針對這一需求,實驗室選用了防爆型冷熱循環(huán)一體機,溫度范圍為-20℃~30℃。設(shè)備采用風(fēng)冷壓縮機組搭配電加熱,載冷劑為乙二醇水溶液,通過內(nèi)置冷凝器(4㎡換熱面積)將抽出的氣體冷卻至-20℃。

冷凝后的水汽收集至30L的儲液箱,并實現(xiàn)抽真空后的自動排水。這一方案有效避免了水汽對真空泵的損害,同時防爆設(shè)計確保了有機溶劑環(huán)境下的操作安全。

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