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半導體制造蒸發(fā)器加熱280KW電加熱導熱油爐「歐能機械」

返回列表 來源: 歐能機械 發(fā)布日期: 2025.05.08/14:50

合作項目半導體制造蒸發(fā)器加熱

合作產(chǎn)品:280KW電加熱導熱油爐

合作時間2025年3月

案例介紹

半導體制造過程中產(chǎn)生的廢水含有多種復雜成分,需通過蒸發(fā)濃縮處理。半導體企業(yè)采用電加熱導熱油爐為蒸發(fā)器提供熱源,處理高濃度廢水。

半導體制造蒸發(fā)器加熱280KW電加熱導熱油爐

蒸發(fā)器需將廢水加熱至120℃實現(xiàn)水分蒸發(fā),剩余濃縮廢液便于后續(xù)處置。由于半導體生產(chǎn)連續(xù)性要求高,任何溫度波動都可能影響廢水處理效率,甚至導致產(chǎn)線停滯,因此對熱源穩(wěn)定性要求苛刻。

半導體制造蒸發(fā)器加熱280KW電加熱導熱油爐

控溫對象為蒸發(fā)器夾套內(nèi)的導熱油,要求油溫穩(wěn)定在120℃,系統(tǒng)需實時監(jiān)控溫度、壓力及流量參數(shù),同時需支持遠程監(jiān)控和異常報警功能。

解決方案采用兩臺280KW電加熱導熱油爐,一用一備,通過PLC集成控制,實時調(diào)節(jié)加熱功率,確保油溫波動在允許范圍內(nèi)。系統(tǒng)配備多級安全保護,包括超溫自動斷電、壓力異常報警等。

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