案例介紹

微電子材料制造企業(yè)的生產(chǎn)線以反應(yīng)釜為核心設(shè)備，主要用于生產(chǎn)高性能薄膜。由于生產(chǎn)過(guò)程中涉及易燃易爆的化學(xué)物質(zhì)，生產(chǎn)區(qū)域被劃分為防爆區(qū)域。此前客戶(hù)使用的非防爆型導(dǎo)熱油爐已無(wú)法滿(mǎn)足安全要求，當(dāng)?shù)劐仚z局要求進(jìn)行設(shè)備改造，確保符合防爆標(biāo)準(zhǔn)。

客戶(hù)的主要控溫對(duì)象是反應(yīng)釜及其連接的管路系統(tǒng)。反應(yīng)釜內(nèi)的化學(xué)反應(yīng)對(duì)溫度波動(dòng)極為敏感，要求控溫精度在±1℃以?xún)?nèi)。由于反應(yīng)釜體積較大，導(dǎo)熱油爐需要具備快速升溫和大流量循環(huán)的能力，以確保反應(yīng)釜內(nèi)溫度均勻分布。

針對(duì)客戶(hù)的需求，為其配備了兩臺(tái)180KW的電加熱防爆導(dǎo)熱油爐。該機(jī)型采用正壓防爆設(shè)計(jì)，完全符合防爆區(qū)域的安全標(biāo)準(zhǔn)。導(dǎo)熱油爐的加熱功率為180KW，配備5.5KW的循環(huán)泵，揚(yáng)程達(dá)到50米，能夠滿(mǎn)足大流量循環(huán)的需求，確保導(dǎo)熱油的高效輸送。

為了節(jié)省空間，設(shè)備采用撬裝設(shè)計(jì)，將加熱系統(tǒng)、循環(huán)泵和控制系統(tǒng)集成在一個(gè)緊湊的模塊中，便于安裝和維護(hù)。導(dǎo)熱油爐的控溫精度達(dá)到±0.5℃，遠(yuǎn)超客戶(hù)要求的±1℃，確保了反應(yīng)釜內(nèi)溫度的穩(wěn)定性和均勻性。

改造后的電加熱防爆導(dǎo)熱油爐完全滿(mǎn)足了客戶(hù)的工藝需求。設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定，溫度控制精度高，反應(yīng)釜內(nèi)的化學(xué)反應(yīng)更加均勻，薄膜產(chǎn)品的質(zhì)量顯著提升。